Объект исследования – наноструктуры на основе оксида палладия (II). Цель работы – установление влияния условий синтеза на фазовый состав и текстуру тонких пленок оксида палладия (II), синтезированных посредством оксидирования в атмосфере кислорода исходных ультрадисперсных слоев металлического палладия различной толщины на подложках SiO2/Si(100). Выводы: Установлено, что оксидирование исходных ультрадисперсных слоев металлического палладия толщиной ~ 95, ~ 190 и ~ 290 нм в атмосфере кислорода в интервале температур Tox = 873–1123 К приводит к формированию гомогенных поликристаллических пленок оксида палладия (II) на подложках SiO2/Si (100). Показано, что поверхностные слои пленок PdO/SiO2/Si (100) имеют выраженную текстуру (001), степень которой возрастает с ростом температуры оксидирования